东方晶源微电子科技（青岛）有限公司成立于2023年12月，是东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司的子公司，主要生产纳米级检测装备和关联软硬件产品、OPC等计算光刻产品，率先填补国内空白，目前处于国内领先水平。核心成员拥有世界一流半导体科技公司的产品研发和市场化经验。依托北京、深圳、上海、福建、山东、湖北、江苏、浙江、日本等研发服务中心，从产品研发到售后服务全方位围绕客户展开，构建起具有全球格局的研发服务网络。

主要产品：电子束缺陷检测设备EBI、关键尺寸量测装备CD-SEM、电子束缺陷复检设备DR-SEM、计算光刻产品OPC、严格光刻仿真软件PanSim、良率管理软件YieldBook。
 

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